研究設備センター 先端研究設備部門は、先端材料・デバイス室、精密機械計測・ロボット室、光・バイオ室で構成され、電子・光デバイス、ナノテクノロジー、ロボットなどに関する研究開発を行うため、クリーンルームをはじめとする施設と最先端の材料作製、加工、性能評価が行える設備や装置を有しています。

先端研究設備部門は、これらの施設、設備が有効に利用され、学内での最先端研究、ベンチャー創出および育成が促進されるよう支援しています。

先端材料・デバイス室

精密機械計測・ロボット室

光・バイオ室

研究内容

先端研究設備部門の装置を使用して次のような研究が行われています。

機械知能システム学専攻 大下 研究室

計測・制御システムプログラム

電子ビーム蒸着装置・マスクアライナー・ウェットステーション・オゾンアッシャー・DEKTAK・ 3D光干渉測定システム

機械知能システム学専攻 菅 研究室

先端ロボティクスプログラム

マスクアライナー・ウェットステーション・蒸着装置

機械知能システム学専攻 新竹 研究室

先端ロボティクスプログラム

クリーンルーム・ドラフト

基盤理工学専攻 島田 研究室

電子工学プログラム

電子線リソグラフィー装置

基盤理工学専攻 水柿 研究室

電子工学プログラム

マスクアライナー・オーブン・スピンナー・電子線リソグラフィー装置・ウェットステーション・オゾンアッシャー

基盤理工学専攻 塚本 研究室

電子工学プログラム

FE-SEM

基盤理工学専攻 宮本 研究室

物理工学プログラム

電子線リソグラフィー装置・デジタル顕微鏡・DEKTAK

基盤理工学専攻 小久保 研究室

物理工学プログラム

DEKTAK

基盤理工学専攻 沈 研究室

光工学プログラム

FE-SEM・X線回析装置・DEKTAK

基盤理工学専攻 中根 研究室

化学生命工学プログラム

光学顕微鏡

情報・ネットワーク工学専攻 内田・田尻 研究室

電子情報学プログラム

スパッタリング装置・電子ビーム蒸着装置・マスクアライナー・電子線リソグラフィー装置・デジタル顕微鏡・ウェットステーション・RIE（F系/CI系）・MOCVD装置・FE-SEM・X線回折装置

早瀬 研究室

i-パワードエネルギー・システム研究センター

FE-SEM・DEKTAK・X線回折装置

News & Information