精密構造解析用X線回折装置 2023.09.102024.11.21 (株)リガクSmartLab/R/Kα1/RE管理責任者:安井正憲基盤理工学専攻設置場所:東6-146 装置概要 装置が最適条件を教えてくれるガイダンス機能を搭載。膜厚測定、配向測定、粒径空孔径分布測定など、専門的な知識がなくとも測定可能。