この設備の利用申請は（予約システムから教職員が行う）はライセンスが発行された後に行ってください。
（詳細はTEMライセンス制をご覧ください。）
| 日本電子(株) | JEM-2100F | 管理責任者： | 桑原大介 | 研究設備センター | 設置場所： | 東6-102 |
装置概要
- 各種材料の原子，分子レベルでの直接像観察，微小領域の結晶構造解析，元素分析などを行なうことができる．
- 高輝度でしかも電子線強度が安定した電界放出形電子銃(FEG)を採用しており，高い分解能と高い分析精度が達成される．
- X線の検出立体角が大きく改善されたことにより，信号検出効率が向上しナノ・スケールでの元素分析が可能である．
- 操作系にはWindows PCが採用され，シンプルでインテグレートされたオペレーション・システムとなっている．
測定例
(111)面に対応した格子縞が見られる。
断面TEM観察用のサンプルはイオンスライサーを用いて作製を行った。
InAs/GaAsサンプルの断面TEM像。
