| 堀場製作所 | PHOTOLUMINOR | 管理責任者： | 田尻武義 | 情報・ネットワーク工学専攻 | 設置場所： | 東6-137 |
装置概要
- 非破壊、非接触による、化合物半導体の組成評価、欠陥評価、量子井戸の評価、不純物評価、結晶性評価が行える。
- 本装置は試料に紫外レーザーを照射して発生する光を調べる。
- 白色LED材料や各種半導体材料の発光特性の評価に有効である。
- 試料は5～300Kで温度調節して発光の温度依存性を調べられる。
測定例
測定できる物質、状態、大きさ等
- 半導体、蛍光試料その他、固体、1mmφ程度のレーザービームを照射出来る範囲
