設備紹介 X線光電子分光装置 ESCA
管理情報
| 製品名 | ： | 日本電子(株) | JPS-9200 |
| 管理部門 | ： | 基盤研究設備部門 | 表面・界面構造解析室 |
| 管理責任者 | ： | 三崎亜衣 | 研究設備センター |
| ： | 北田昇雄 | 環境安全衛生管理センター |
装置概要
- 真空中で固体表面にX線を照射し，表面原子から飛び出した電子（光電子）を 捕らえる装置．
- 光電子は元素に固有のエネルギーを有しており，エネルギー分布の測定から， 表面元素組成の分析と状態分析（酸化数）を行う．
研究例
- 積層半導体，多積層機能材料の面を削り，削られた表面の分析を繰り返すことで深さ方向の組成情報を得る．
測定例
図1 n型のXPSスペクトル（Bi4f）
測定できる物質、状態、大きさ等
- 本装置による分析は高真空下で行うため，揮発成分を含む試料や昇華性の高い物質の測定は困難である．
- また，試料台の大きさに制限があるため，10mm x 10mm 以下 3mm x 3mm 以上，厚さ 2mm以下の試料を準備して下さい．