設備紹介 200ｋV熱電子放出型透過型電子顕微鏡
管理情報
| 製品名 | ： | 日本電子(株) | JEM-2010 |
| 管理部門 | ： | 基盤研究設備部門 | 表面・界面構造解析室 |
| 管理責任者 | ： | 桑原大介 | 研究設備センター |
装置概要
- 結晶構造の観察と微小領域の分析を同時に行える．
- 最高水準の球面収差，色収差係数の対物レンズとアンチコンタミネーションコールドトラップやEDS検出器をそなえ， 0.2nm以下の分解能とナノメートル領域分析が可能．
測定例
湿式法で作製したZnSe微粒子の高分解能電顕像。
2～3nmの粒子サイズに相当する格子縞が見られる。
77Kで累積ひずみ6までMDF加工した際に生成したナノ結晶粒組織．
この組織の平均粒径は20nm．