設備紹介 200ｋV電界放出型透過型電子顕微鏡
管理情報
| 製品名 | ： | 日本電子(株) | JEM-2100F |
| 管理部門 | ： | 基盤研究設備部門 | 表面・界面構造解析室 |
| 管理責任者 | ： | 桑原大介 | 研究設備センター |
装置概要
- 各種材料の原子，分子レベルでの直接像観察，微小領域の結晶構造解析，元素分析などを行なうことができる．
- 高輝度でしかも電子線強度が安定した電界放出形電子銃(FEG)を採用しており，高い分解能と高い分析精度が達成される．
- X線の検出立体角が大きく改善されたことにより，信号検出効率が向上しナノ・スケールでの元素分析が可能である．
- 操作系にはWindows PCが採用され，シンプルでインテグレートされたオペレーション・システムとなっている．
測定例
InAs/GaAsサンプルの断面TEM像。
(111)面に対応した格子縞が見られる。
断面TEM観察用のサンプルはイオンスライサーを用いて作製を行った。