設備紹介 最先端三次元形状測定・評価システム
管理情報
| 製品名 | ： | （株）東京精密 | ZWEISS PRISMO Navigator 5 S-ACC mass |
| 管理部門 | ： | 基盤研究設備部門 | 分析・計測機器室 |
| 管理責任者 | ： | 金森哉吏 | 機械知能システム学専攻 |
装置概要
- あらゆる測定に柔軟に対応できる高精度ＣＮＣ三次元測定機。
- 測定内容に合わせて、アクティブスキャニングプローブ (VAST GOLD)、回転式スキャニングプローブ(VAST XXT)、光学式ラインレーザプローブ(LineScan)を選択する。
- また、回転テーブルを併用した測定が可能。
測定できる物質、状態、大きさ等
- 主な性能（VAST GOLD の実測値）
- 測定範囲 X700mm×Y900mm×Z500mm
- 指示誤差(MPE E) 最大値 +0.2μｍ
- プロービング誤差(MPE P) 0.3μｍ
- スキャニング誤差(MPE THP) 1.1μｍ
- 主な測定、データ処理プログラム
- 汎用測定、形状測定、幾何形状測定、輪郭形状解析、自由曲面・自由曲線測定・データ生成、歯車測定など