設備紹介 顕微レーザーラマン分光計
管理情報
| 製品名 | ： | 日本分光（株） | NRS-3100 |
| 管理部門 | ： | 基盤研究設備部門 | 分析・計測機器室 |
| 管理責任者 | ： | 桑原大介 | 研究設備センター |
装置概要
- ラマン分光では，分子の振動状態，回転状態などに関する情報を与えてくれる．
- 本装置は，半導体・薄膜デバイス材料・微粒子やそれらの表面の研究分野で標準的な解析装置である．
- 試料に約10μm程度の小さいスポットでレーザー光を照射し，特定の場所のラマンスペクトル測定ができる．
- 試料を平面的に自動で動かすことのできる自動XYZ測定ステージを有する．
これを使用することにより，微小試料，バルクの微小部分のマッピング測定を，高い空間分解能（1μm）で行うことができる．
マッピング測定からは表面のケミカルなイメージを作成することができる．
