設備紹介 マクロフォトルミネッセンス測定装置
管理情報
| 製品名 | ： | 堀場製作所 | PHOTOLUMINOR |
| 管理部門 | ： | 基盤研究設備部門 | 分析・計測機器室 |
| 管理責任者 | ： | 内田和男 | 情報・ネットワーク工学専攻 |
装置概要
- 非破壊、非接触による、化合物半導体の組成評価、欠陥評価、量子井戸の評価、不純物評価、結晶性評価が行える。
- 本装置は試料に紫外レーザーを照射して発生する光を調べる。
- 白色LED材料や各種半導体材料の発光特性の評価に有効である。
- 試料は5～300Kで温度調節して発光の温度依存性を調べられる。
測定例
MOVPE 法で成長したGaInP/GaAsのPL測定結果
測定できる物質、状態、大きさ等
- 半導体、蛍光試料その他、固体、1mmφ程度のレーザービームを照射出来る範囲